| 王义全,陈 笑,邹 斌,蔡园园,黎仪艺,李传波,彭洪尚.影响基于等厚干涉原理测量膜厚精度的因素分析[J].物理通报,2023,42(4):24-27 |
| 影响基于等厚干涉原理测量膜厚精度的因素分析 |
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| 中文关键词: 等厚干涉 等倾干涉 测量精度 |
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| 中文摘要: |
| 基于光学干涉原理的薄膜测量技术是重要的光电检测技术之一. 该测量方法可获得较高的测量精度.
但是在实际干涉测量中, 膜厚测量的精度与所用光束的物理特性以及膜厚本身有较大关系. 基于薄膜干涉的基本原
理, 分析了光束的发散角、 薄膜厚度以及光束的入射角对基于薄膜干涉测长结果的影响, 这对学生正确理解基于干
涉的测量原理, 掌握正确的测量方法, 提高测量精度具有一定的指导意义 |
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