| 王晓峰,杨 珺,陈 佶.薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践[J].物理通报,2023,42(8):111-116 |
| 薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践 |
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| DOI： |
| 中文关键词: 磁控溅射 原子力显微镜 虚拟仿真 实验教学 |
| 英文关键词: |
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| 中文摘要: |
| 为解决薄膜材料物理实验在大学物理实验教学中实验仪器昂贵, 实验过程高危等困难, 设计与建设了
“ 磁控溅射镀膜和原子力显微镜( A FM) 在氢化纳米硅制作过程中的应用” 虚拟仿真实验. 此虚拟仿真实验项目借助
3 D技术, 真实还原并模拟了实验场景与过程, 人机交互程度高, 可操作性强. 通过三年的教学实践与网络平台推广,
取得了良好的教学效果以及学生的一致好评 |
| 英文摘要: |
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