| 李亚平,李晓军.专业仿真软件在半导体器件物理课程改革中的应用[J].物理通报,2024,43(1):28-32 |
| 专业仿真软件在半导体器件物理课程改革中的应用 |
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| 中文关键词: 半导体器件 课程改革 器件仿真 MO S F E T |
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| 半导体器件物理及其相关课程已成为应用物理学专业和电子信息类专业高年级本科生和研究生的必
修课程. 课程教学内容是从事半导体器件设计、 制造和应用等方面工作和研究所必需的专业知识. 此课程在建设教
学 研究型大学的学生培养课程设计中具有代表性作用. 本文选取本课程的部分重难点为实例采用S i l v a c o软件进
行仿真, 得到的仿真结果与教材给出的结论一致性非常高, 说明此专业仿真软件S i l v a c o可用于课程教学中. 将专业
仿真软件与课程相结合, 不仅可以更形象地解释物理参数, 提高教师授课效果, 更能使学生通过理论与应用的联
系, 明确学习的目的, 提高学习兴趣, 加强对专业知识的重视 |
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