| 陆 畅,杨 冰.一种钨金属纳米探针的制备方法[J].物理通报,2024,43(3):159-161 |
| 一种钨金属纳米探针的制备方法 |
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| DOI： |
| 中文关键词: 电化学腐蚀 钨丝 纳米探针 交流电 |
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| 中文摘要: |
| 金属探针在半导体芯片性能测试及生物医学研究中被广泛应用. 基于电化学腐蚀方法, 设计搭建了一
套简易制备探针针尖的装置, 利用电化学腐蚀的方式实现了钨探针针尖的制备. 运用控制变量法研究了腐蚀电压与
时间对钨探针的影响. 该方法简单便捷实用, 能满足科研实验室快速制备钨探针的需求 |
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