| 褚长亮,屈光辉,王武孝,刘满仓,刘如军,张 琴.光滑表面粗糙度Rz参数的一种干涉测量法[J].物理通报,2016,35(1):71-74 |
| 光滑表面粗糙度Rz参数的一种干涉测量法 |
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| 中文关键词: 表面粗糙度 干涉测量法 表面微观形貌分析 |
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| 中文摘要: |
| 介绍了一种光滑表面粗糙度Rz 参数的干涉测量法.该方法用空气膜层上表面与样本表面的基准面平
行的方式来观察等厚干涉条纹, 用干涉条纹间的相对运动来判断样本表面的峰谷, 同时也给出了新的Rz 计算公
式.该方法测量过程较简单、 对仪器要求较低且有助于样本的表面微观形貌分析 |
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